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反应离子刻蚀机(RIE)

反应离子刻蚀机(RIE)
生产商:
品牌:
七星华创
刻蚀介质:
氮化硅、多晶硅、砷化镓、磷化铟及铝等多种介质
刻蚀速率:
3000~6汉阳科技版权所有000埃/分
均匀性:
±5%
选择比:
5:1
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