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平板型等离子增强化学气相淀积系统（PECVD）

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平板型等离子增强化学气相淀积系统（PECVD）
生产商：
北京七星华创电子股份有限公司
品牌：
七星华创
结构形式：
平板型
装片能力：
Φ50mm 19片
反应室极限真空度：
≤0.67Pa
工艺压强范围：
13.3～266Pa
      更多参数>>
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