RLD10平面镜干涉仪

　　RLD10发射头内含有干涉镜组、独特的多通道条纹检测系统、激光光闸和内置的激光准直辅助镜。提供0°和90°两种RLD10发射头型号。

　　特性与优点：

　　● 双轴解决方案 — 双轴平面镜系统是XY平台应用的理想解决方案。

　　● 高分辨率 — 与角锥反射镜系统相比，平面镜系统还可用于要求更高分辨率的应用。

　　● 敏感环境 — 还提供低功率型号的平面镜干涉仪发射头。适合其功耗要求低于标准RLD额定值(即 < 2 W)的应用。

　　对于非真空应用，为了维持变动环境条件下的精度，需要某种形式的折射率补偿。雷尼绍提供RCU10实时正交补偿系统，用于对环境变化进行补偿。

　　若选用RPI20并行接口并集成到RLE系统中，可达到38.6皮米的分辨率。该接口可接收差分模拟1 Vpp正弦/余弦信号，并提供并行输出格式。

规格