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2024年最后一天,中国电子材料行业协会公众号消息,中电科半导体材料有限公司所属山西烁科晶体有限公司成功研制出12英寸(300mm)高纯半绝缘碳化硅单晶衬底,并同期研制成功12英寸(300mm)N型碳化硅单晶衬底。
根据官网显示,烁科目前拥有800台单晶生长设备,已实现4/6英寸高纯半绝缘和N型碳化硅单晶衬底产业化,年产能可达10万片以上;8英寸产品已实现小批量供应。
产能进展方面,烁科一期在2020年3月正式投产,具有300台单晶生产设备,具备年产7.5万片碳化硅单晶衬底的产能。具体到产品方面,具备年产10万片4-6英寸N型碳化硅单晶晶片、5万片4-6英寸高纯半绝缘型碳化硅单晶晶片的生产能力。二期在2024年10月投产,每年新增20万片6-8英寸碳化硅衬底的产能,其中包括N型碳化硅单晶衬底20万片/年、高纯衬底2.5万片/年、莫桑晶体1.3吨/年。